основанный на бомбардировке ионами, возникающими за счёт ионизации.
В 1951 году Эрвин Вильгельм Мюллер изобрел автоионный микроскоп, получив изображение поверхности эмиттера с помощью положительных ионов водорода и достигнув с помощью ионного проектора атомарного разрешения.
